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中科院微電子臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

更新時間:2020-01-03

簡要描述:

我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。

產品主要特點

1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。

2、轉速在500~8000轉/分范圍內非常穩定。

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子

中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

產品簡介 

我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

產品主要特點 

1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。 

2、轉速在500~8000轉/分范圍內非常穩定。   

3、采用雙轉速。在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動轉換到高速運轉。兩種轉速及相應的時間分別可調,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。 

4、具有定時功能。  

5、測速采用光電的辦法,產生光電脈沖,由晶體分頻測速準確性高。  

6、"吸片"采用電磁閥控制氣路,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作,適合流水線的工藝,提高了效率。   

7、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音低。 

性能指標:

參數

指標

調速范圍和勻膠時間

Ⅰ檔調速范圍:500-2000轉/分Ⅰ檔勻膠時間:2-18秒

Ⅱ檔調速范圍:1300-8000轉/分Ⅱ檔勻膠時間:3-60秒

適用

Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠

電機功率

40W

LED數字顯示

轉速穩定度:±1%,膠的均勻性:±3%

真空泵抽氣速率

≥60升/分

儀器尺寸

210×220×160mm

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